20 июн. 2008 г.

Дефекты конструкции кремниевых ФЭП

К исходным дефектам структуры фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) относятся агломераты точечных дефектов, дислокации и их скопления, планарные дефекты типа двойников, дефекты упаковки, границы зерен, а также преципитаты и микродефекты, которые расположенные внутри зерен, макродефекты материала и т.п. Отклонение в ходе проведения технологических операций, загрязнение поверхности и объема полупроводникового материала, жидких и газообразных технологических сред, термические и механические процессы также приводят к появлению и развитию дефектов, связанных с несовершенствами конструкции ФЭП.

Лукомский Д.В., Монаков С.В., Ленков С.В. СИЭТ-6, 2005 г.

Комментариев нет: